Analiza obiectului de prelucrare
Material: sticlă de cuarț de calitate optică
Caracteristici de procesare: șlefuire cu mai multe-suprafețe (inclusiv 3 fațete asimetrice)
Dimensiuni cheie: 16×16×10mm (eroare ±0,002mm)
Această prismă de cuarț, care are doar dimensiunea unei unghii, este elementul de ghidare a luminii-nucleului al sistemului optic al unei mașini de litografie-de ultimă generație. Cele 8 suprafețe curbate complexe ale sale trebuie să atingă o precizie de refracție de 99,6% la nivel de transmisie și nanometri-, iar rugozitatea suprafeței afectează direct rezoluția expunerii mașinii de litografie.
Puncte dure din industrie și dificultăți tehnice
O companie de tehnologie optică a întâmpinat un blocaj în procesarea prismelor de cuarț atunci când a promovat localizarea mașinilor de litografie:
Defecte tradiționale de șlefuire: Rugozitatea după lustruirea manuală ajunge în continuare la Sa 120 nm, rezultând o pierdere de 15% a împrăștierii luminii
Dependența de echipamente de import: costul unei singure polizoare japoneză ultra-de precizie depășește 20 de milioane de yuani, iar perioada de livrare este de până la 18 luni
Criza randamentului: Doar 32 din primul lot de 500 de producții de probă au îndeplinit standardele, trăgând serios în jos progresul proiectului
Dilema „nu își pot permite echipamentele importate, iar procesele interne nu sunt bune” a blocat direct procesul de dezvoltare a mașinii de litografie independentă.
BISHENsolutia solutiilor
Ca răspuns la cerințele extreme de precizie ale componentelor optice, echipa tehnică BISHEN a dezvoltat cercetare și dezvoltare inovatoare:
1. Sistem de procesare verticală cu ultrasunete pe cinci-axe
Compensare dinamică la nivel de 2. 0.1μm-, control precis al mașinilor-unelte cu legături pe 18 axe
3. Programare inteligentă CAD/CAM cu suprafață asimetrică potrivită
4. Tehnologie de șlefuire asistată cu ultrasunete de înaltă-frecvență
5. 40Vibrația ultrasonică kHz reduce cu 52% stresul de tăiere și evită microfisurile de cuarț
6. Durata de viață a roții de șlefuit cu micro-pulbere de diamant este prelungită de 3 ori
Salt de performanță măsurat real
Au fost realizate trei descoperiri majore în producția în masă a unui anumit tip de prismă de mașină de litografie domestică:
1.Calitatea suprafeței: Rugozitate Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2.Eficiența procesării: orele de lucru dintr-o singură bucată-se comprimă de la 14 ore la 3,5 ore
3. Controlul costurilor: Investiția în echipamente reprezintă doar 1/5 din soluția importată
Rata de randament a primului lot de 3.000 de produse a crescut la 98,7%, ajutând clienții să finalizeze asamblarea prototipurilor cu 6 luni înainte de termen.
despreBISHEN
BISHENPrecision Technology (înființată în 2017) se concentrează pe depășirea tehnologiei „gât de sticlă” în domeniul producției de vârf-. A construit o fabrică digitală de 7.500 de metri pătrați în Dongguan, echipată cu grupuri de echipamente importate, cum ar fi centre de prelucrare cu legături cu cinci-axe și polizoare optice de ultra-precizie. Prin aplicarea tehnologiilor inovatoare, cum ar fi prelucrarea cu ultrasunete și tăierea criogenică, la echipamentele semiconductoare, instrumentele optoelectronice și alte domenii, a furnizat soluții cheie de procesare a pieselor pentru mai mult de 20 de companii interne din lanțul de mașini de litografie și a livrat peste 500.000 de componente optice de precizie.
