Fundalul cazului: „Problemă cu -o mie de găuri” în fabricarea așchiilor
În domeniul prelucrării chipurilor semiconductoare, sticla de cuarț este utilizată pe scară largă la fabricarea discurilor de pulverizare în procesul de gravare datorită purității sale ridicate, rezistenței la temperaturi ridicate și stabilității chimice. Cerințele de procesare ale unui producător lider de echipamente de cip pentru discuri de pulverizare cu cuarț sunt foarte reprezentative:
Material: Sticlă de cuarț (duritate HV700)
Caracteristici de bază: 0,5 mm diametru, 5 mm adâncime micro-găuri (raport adâncime-la-diametru 10:1), 4.996 de găuri trebuie prelucrate uniform pe un disc cu un diametru de 280 mm
Cerințe de precizie: Rotunjimea găurii Mai mică sau egală cu ±5μm, eroare de poziție<0.02mm, hole edge collapse ≤0.15mm
Producătorul a folosit inițial tehnologia tradițională de foraj, dar s-a confruntat cu două probleme fatale:
Blocaj de eficiență: Procesarea cu o singură gaură durează 270 de secunde, iar procesarea pe un singur disc necesită o funcționare continuă timp de 34 de zile;
Ceda scăpat de sub control: Colapsul marginii găurii ajunge la 0,4 mm, rezultând că mai mult de 30% din piesele de prelucrat sunt fisurate și casate din cauza concentrării tensiunilor.
Soluții BISHEN: Tehnologia cu ultrasunete subminează meșteșugurile tradiționale
Având în vedere caracteristicile fragile și dure ale sticlei de cuarț, echipa de cercetare și dezvoltare BISHEN a propus sistemul de gravare și frezare de precizie cu ultrasunete, care a străbătut trei inovații tehnice:
① Tehnologia de reducere a vibrațiilor cu ultrasunete de înaltă-frecvență
Vibrația ultrasonică de 20 kHz scurtează timpul de contact dintre burghiu și material la microsecunde, reduce forța de tăiere cu 65% și suprimă colapsul marginii de la rădăcină.
② Personalizare integrală a burghiului PCD
Burghiul este realizat dintr-o foaie compozită de diamant (PCD) dintr-o singură bucată, cu o precizie a arcului de tăiere de ±2μm și un sistem de corecție axială de 0,01 grade pentru a asigura dreptateitatea găurilor adânci de 5 mm.
③ Scule de poziționare cu adsorbție în vid
Platforma plutitoare cu aer cu control independent al mai multor zone stabilizează eroarea de planeitate a discului de cuarț de 280 mm în termen de 0,005 mm, eliminând abaterea poziției de găurire.
Comparația datelor de procesare: dublu salt în eficiență și acuratețe
Soluția a fost verificată de clienții în producția de masă timp de trei luni consecutive, iar randamentul plăcii de pulverizare a crescut de la 67% la 98%, economisind producătorilor mai mult de 8 milioane de yuani în costurile de pierdere a materialului de cuarț în fiecare an.
Inspirație pentru industrie: punctul de cotitură tehnic al prelucrării de precizie
Procesarea cu micro-găuri din sticlă de cuarț a fost cândva o legătură „gât de sticlă” care restricționa modernizarea echipamentelor cu cip. Prin aplicarea ingineriei a tehnologiei cu ultrasunete, BISHEN nu numai că a rezolvat problema prelucrării micro-găurilor cu un raport adâncime-la-diametru de 10:1, dar a și verificat o nouă paradigmă pentru prelucrarea de precizie a materialelor fragile și dure - Înlocuind creșterea simplă a creșterii simple a durității sculei, frecvența vibrațiilor, care are un control ridicat al vibrațiilor, frecvența sculei. pentru prelucrarea de ultra-precizie în industrii precum ceramica și sticla optică.
Despre Bishen Precision
BishenPrecizia se concentrează pe producția de piese metalice de{0}}înaltă precizie. Bazându-se pe o bază de producție modernă de 7.500 de metri pătrați, oferă soluții unice-pentru piese structurale complexe în domeniul aerospațial, al mașinilor medicale și al roboticii. Compania ia „precizie extremă și livrare fiabilă” drept competitivitate de bază și are capacitatea de a furniza servicii complete de proces-de la modificarea materialelor, procesarea legăturii cu mai multe axe la testarea-la nivel de microni. Deține sistemul de management al calității dispozitivelor medicale ISO 13485, certificarea aerospațială AS9100 și alte calificări și a livrat peste 200.000 de piese cheie în total, ajutând clienții să treacă peste granițele producției de precizie.
